주요사업

젊음의 에너지와 상상력으로
세계 반도체 기술을 리드하겠습니다.

CVD SiC Components

CVD 공법으로 생산한 부품, 특히 Dry Etcher, Diffusion chamber용 parts의 수명 연장 및 수율 개선을 위해 사용
SiC Ring
Dummy Wafer
Shower Head

용도

  • SiC Ring
  • SiC Shower Head
  • SiC Dummy Wafer

특징

  • No heat deformation
  • No outgassing
  • Long lifetime compared with Si
  • Excellent chemical resistance

Material Properties of SiC

Material properties
SiC
사용분야 반도체 장비 세라믹 치구 (Focus Ring, SiC Wafer)
주요특징 초고순도, 내플라즈마 특성 우수
Properties Purity >99.9999%
Density (g/cm 3) 3.21
Thermal conductivity (W/m-K) 200 ~ 360
Coefficient of thermal expansion(/℃) 4.5~5
Hardness (kg/mm 2) 2900~3300
Resistivity [Ωcm] 0.1~15,000
Corrosion resistance, (HCl)[2300 ℃] x