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SiC/TaC Coated Components

LED용 MOCVD 및 반도체용 Si/SiC Epi Susceptors
TaC Coated Susceptor
(SiC Epi / UV LED Susceptor)
SiC Coated Susceptor
(ALD / Si Epi / LED MOCVD Susceptor)

용도

  • LED(Light Emitting Diode) Wafer Carrier
  • ALD(Semiconductor) Susceptor
  • EPI Susceptor

특징

  • Usable under GaN, GaAs atmosphere
  • Super high purity
  • Excellent chemical resistance
  • No outgassing

Material properties
(Extruded graphite)

Material properties
SiC TaC
사용분야 반도체 장비 세라믹 치구
(Focus Ring, Shower Head, Dummy Wafer)
SiC 단결정성장, Epi, UVLED 장비 부품
주요특징 초고순도, 내플라즈마 특성 우수 우수한 고온안정성 (고온공정 적합)
Properties Purity >99.9999% >99.9999%
Density (g/cm 3) 3.21 14.3~14.65
Thermal conductivity (W/m-K) 200 ~ 360 21
Coefficient of thermal expansion(/℃) 4.5~5 6.7~7.2
Hardness (kg/mm 2) 2900~3300 6.7~7.2
Resistivity [Ωcm] 0.1~15,000 <1
Corrosion resistance, (HCl)[2300 ℃] x